等離子體（Plasma）在近代物理學中是一個很普通的概念，是一種在一定程度上被電離（電離度大于0.1%）的氣體，其中電子和陽離子的濃度處于平衡狀態，宏觀上呈電中性的物質。
等離子體發射光譜儀用于測定各種物質（可溶解于鹽酸、硝酸、氫氟酸等）中的常量、微量、痕量元素的含量。儀器具有高效、抗干擾型強、自動化程度高、操作簡便、穩定可靠、測試范圍廣、分析速度快、檢出限低等特點。廣泛應用于稀土、地質、冶金、化工、環保、臨床醫藥、石油制品、半導體、食品、生物樣品、刑事科學、農業研究等各個領域。
等離子體發射光譜儀在使用過程中可能會出現一些問題，下面就幾種常見的故障做簡單說明：
1、等離子體溫度受到影響，可從這幾個方面排查。
載氣的壓力：激發溫度隨載氣壓力的降低而增加；
載氣流量：流量增大，中心部位溫度下降；
第三元素的影響：引入低電離電位的釋放劑的等離子體，電子溫度將增加；
頻率和輸入功率：激發溫度隨功率增大而增高，近似線性關系，在其他條件相同時，增加頻率，放電溫度降低。
2、等離子體發射光譜儀有時候會出現真空泵不自動啟動故障。這個時候需要先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。有時候也會出現真空值下降快的情況，我們需要真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。
3、光譜儀出現排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。一般這種情況需要更換排氣管，并定期對排氣管路進行吹掃。
4、一般情況下光譜儀光強值下降。原因一般多為透鏡臟，或者入射狹縫污染和光纖老化，這個時候需要我們擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
5、光譜儀 P、S 穩定性不好。檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。需要檢查真空泵及清洗鏡片。
