德國斯派克光譜儀出現排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。一般這種情況需要更換排氣管，并定期對排氣管路進行吹掃。
德國斯派克光譜儀有時候會出現真空泵不自動啟動故障。這個時候需要先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。有時候也會出現真空值下降快的情況，我們需要真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。
一般情況下德國斯派克光譜儀光強值下降，原因一般多為透鏡臟，或者入射狹縫污染和光纖老化，這個時候需要我們擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
德國斯派克光譜儀P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。需要我們檢查真空泵及清洗鏡片。
分析樣品時，對每一個數據都要判定是否有效，有效數據保留，無效數據刪除。常用的判定的方法，是看元素數據的變化是否小于3%。這種判定方法是不太準確的。因為元素的高、低不同含量，分析誤差是有很大差別的。而且這種判定方法操作時不直觀、不方便。
有效數據的判定的依據應該是rsd值，每次測量計算機會自動計算出來，直觀且方便。rsd值表示的是相對標準差，也就是儀器的測量精度，rsd越小表示多次測定的結果之間越接近，平均值就越接近實際值。(rsd值表示的是百分數值，0.5表示0.5﹪)。
影響rsd值有三個因素：
1)儀器精度：高質量光譜儀的測量重現性好，數據的離散性小，精度就高。質量一般的光譜儀重現性差，數據離散性大，精度就差。例如：對于2%含量的元素，高精度的儀器，測量數據可以在±0.01，rsd值可以做到0.45。質量一般的光譜儀，測量數據可能在±0.02，rsd值只有0.89。
2)分析元素基本含量：因為rsd值的計算是標準差sd值與平均值的比值乘100得到的，同樣的偏差值，含量高的元素rsd值就小，反之含量低的元素rsd值就大。例如：同樣是0.02的偏差值，對于大于1﹪的元素rsd值可以﹤1﹪;含量小于1﹪的元素rsd值2～6;含量小于0.1﹪的元素rsd值就高達20多。
3)樣品的狀態：成分的均勻情況、樣品缺陷和雜質的影響、樣品制備好壞等因素，都會測使試數據的rsd值增大。
