場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，它采用尖端肖特基熱場(chǎng)發(fā)射技術(shù)，具有許多優(yōu)勢(shì)和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，它的工作原理主要包括以下幾個(gè)步驟：
1.電子源：使用場(chǎng)發(fā)射電子槍作為電子源，通過強(qiáng)電場(chǎng)使金屬的電子脫離束縛，形成高亮度、高相干性的電子束。
2.電子光學(xué)系統(tǒng)：電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌進(jìn)行聚焦、偏轉(zhuǎn)和整形，最終形成一個(gè)細(xì)小的探針。
3.掃描系統(tǒng)：掃描線控制電子?xùn)|在樣品表面進(jìn)行逐行掃描，與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào)。
4.信號(hào)檢測(cè)與成像：配備多種探測(cè)器收集不同種類的信號(hào)，并經(jīng)過放大、處理后生成反映樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和成分信息的圖像。
5.真空系統(tǒng)：維持局真空環(huán)境以確保電子?xùn)|能夠在樣品表面產(chǎn)生足夠的信號(hào)，并防止電子槍和樣品受到污染。
為了保證場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的正常運(yùn)行和延長(zhǎng)其使用壽命，需要進(jìn)行嚴(yán)格的日常維護(hù)和管理：
1.環(huán)境條件控制：保持電鏡室內(nèi)的溫度、濕度、排氣、震動(dòng)、噪聲、磁場(chǎng)和接地等條件穩(wěn)定，避免對(duì)電子束產(chǎn)生干擾。
2.光學(xué)系統(tǒng)維護(hù)：定期檢查和維護(hù)電子光學(xué)系統(tǒng)的燈絲和光闌，確保其處于良好狀態(tài)。
3.真空系統(tǒng)維護(hù)：保持鏡筒和樣品室的高真空度，定期檢查真空泵的工作狀態(tài)并進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。
4.樣品處理：確保待觀察樣品干燥、無污染物，并選擇合適的制樣方法進(jìn)行處理。
