鎢燈絲掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實(shí)現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對x射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
掃描電鏡的另一個重要特點(diǎn)是景深大，圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學(xué)顯微鏡的10倍由于圖像景深較大，獲得的掃描電子圖像具有三維感強(qiáng)、形狀三維等特點(diǎn)，比其他顯微鏡能提供更多的信息，對用戶有很大的價(jià)值掃描電鏡所表明斷裂形態(tài)從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質(zhì)，在教學(xué)科研和生產(chǎn)中具有不可替代的作用，是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。
因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。掃描電鏡同其他方式的電子顯微鏡比較，由于用于觀察的電子探針電流小，電子探針的束斑尺寸小，電子探針的能量也小此外，它不會在固定處照射樣品，而是通過光柵掃描照射樣品因此，對一些生物樣品進(jìn)行觀察是非常重要的，因?yàn)闃悠返膿p傷和污染程度都很小。
鎢燈絲掃描電子顯微鏡主要性能參數(shù)
1、分辨率
對微區(qū)成分分析而言，分辨率指能分析的最小區(qū)域；對成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)間的最小距離。
鎢燈絲掃描電子顯微鏡分辨率主要受三方面影響：入射電子束束斑直徑、入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)、成像方式及所用的調(diào)制信號。
二次電子像的分辨率約為5-10nm，背散射電子像的分辨率約為50-200nm。一般來說鎢燈絲掃描電子顯微鏡分辨率指的是二次電子像的分辨率。
2、放大倍數(shù)
放大倍數(shù)可從十倍到幾十萬倍連續(xù)可調(diào)。
放大倍數(shù)：M=L/I，其中L是顯像管尺寸，I是光柵掃描時相鄰兩點(diǎn)間距。M通過調(diào)節(jié)掃描線圈電流進(jìn)行，電流小則電子束偏轉(zhuǎn)角度小，放大倍數(shù)增大。放大倍率不是越大越好，要根據(jù)有效放大倍率和分析樣品的需要進(jìn)行選擇，與分辨率保持一定關(guān)系。
3、景深
景深指一個透鏡對高低不平的試樣各部位能同時聚焦成像的一個能力范圍。估算景深D=2 r/a=0.2/(aM)mm，a-電子束張角，M-放大倍數(shù)。物鏡采用小孔視角、長焦距，可獲得很大景深。
4、襯度
包括表面形貌襯度和原子序數(shù)襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。原子序數(shù)襯度指掃描電子束入射試祥時產(chǎn)生的背散射電子、吸收電子、X射線，對微區(qū)內(nèi)原子序數(shù)的差異相當(dāng)敏感。原子序數(shù)越大，圖像越亮。二次電子受原子序數(shù)的影響較小。高分子中各組分之間的平均原子序數(shù)差別不大；所以只有—些特殊的高分子多相體系才能利用這種襯度成像。
